Tokyo Electron et imec collaborent pour accélérer le développement des nœuds au-delà du 2 nm
Tokyo Electron (TEL) a annoncé dans un communiqué la prolongation de son partenariat avec imec pour une durée de cinq ans. Cette collaboration vise à intensifier la recherche et le développement conjoints dans des domaines clés de la fabrication des semi-conducteurs, notamment la lithographie de nouvelle génération, le traitement des dispositifs logiques avancés, le développement de mémoires du futur et l’intégration 3D. L’objectif affiché : repousser les limites de la miniaturisation en dessous du nœud 2 nm.
Depuis 1995, TEL et imec collaborent pour faire avancer la technologie des semi-conducteurs, en particulier dans les domaines de la lithographie, de la gravure, du traitement par voie humide et des dépôts chimiques. Parmi leurs réalisations phares figure la co-développement de la technologie de revêtement de résist pour la lithographie EUV, qui a permis une nette amélioration du contrôle des défauts et facilité l’introduction de l’EUV dans la production industrielle. Ce savoir-faire commun est aujourd’hui au cœur de la nouvelle phase du partenariat.
Focus sur les technologies de pointe
La collaboration renouvelée se concentrera sur la co-conception d’outils et de procédés pour soutenir la prochaine vague de miniaturisation des semi-conducteurs.
Les équipes travailleront notamment sur les technologies de patterning High NA, visant à optimiser les systèmes de matériaux et à améliorer le contrôle des défauts, ainsi que sur des solutions avancées de dépôt et de gravure pour les dispositifs CFET de nouvelle génération. Ces innovations sont essentielles pour répondre aux exigences croissantes de performance et de fiabilité des circuits intégrés du futur.
Une démarche engagée pour une électronique durable
Au-delà de la performance technologique, le partenariat TEL-imec s’inscrit dans une démarche de développement durable. Les deux partenaires s’engagent à explorer des procédés de fabrication responsables, afin de réduire l’empreinte environnementale des futures générations de semi-conducteurs. Cette orientation répond aux attentes croissantes du marché et des régulateurs en matière de responsabilité écologique.
Une vision partagée pour l’avenir de la microélectronique
Toshiki Kawai, Président et CEO de Tokyo Electron, souligne l’importance de ce partenariat :
« Nous sommes ravis de prolonger notre collaboration avec imec, leader mondial de la recherche sur les semi-conducteurs. Cet accord renforce notre engagement à rester à la pointe de l’innovation tout en accélérant le développement de technologies cruciales pour les nœuds avancés. En s’appuyant sur l’expertise d’imec en optimisation des procédés et en développement durable, nous sommes convaincus de pouvoir proposer des solutions répondant aux exigences de performance et d’environnement de nos clients à l’échelle mondiale. »
Luc Van den hove, CEO d’imec, ajoute quant à lui :
« Cette collaboration élargie illustre l’engagement d’imec à bâtir des partenariats internationaux bénéfiques pour l’ensemble de l’écosystème des semi-conducteurs. En approfondissant notre alignement avec TEL, nous enrichissons nos initiatives phares, telles que la Nano IC pilot line dans le cadre du European Chips Act. »
Ce partenariat est un véritable gagnant-gagnant : il consolide le leadership technologique de TEL tout en renforçant la position d’imec comme centre mondial de recherche avancée sur les semi-conducteurs une dynamique qui stimulera l’innovation pour la décennie à venir.
